Auger-Elektronenspektroskopie

Auger-Elektronenspektroskopie [oˈʒe-; nach P. V. Auger], Abkürzung AES, Auger-Spektroskopie, eine den Auger-Effekt nutzende, sehr leistungsfähige Methode zur chemisch-analytischen Untersuchung von Festkörperoberflächen und dünnen Schichten, bei der die Energie der durch Elektronen- oder auch Röntgenstrahlen ausgelösten Auger-Elektronen gemessen wird. Es lassen sich besonders Oberflächenverunreinigungen, Adsorptions- und Diffusionsvorgänge sowie chemische Festkörperreaktionen in