Diffusionsverfahren (Halbleitertechnologie)
Diffusionsverfahren, Halbleitertechnologie: die Verfahren der Diffusionstechnik zur Dotierung von Halbleitereinkristallen, besonders
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Quellenangabe
Brockhaus,
Diffusionsverfahren (Halbleitertechnologie).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/diffusionsverfahren-halbleitertechnologie