Atomlithografie
Atomlithografie, Atomstrahllithografie, Atomlithographie, Herstellung von Strukturen integrierter Halbleiterbauelemente mit Methoden der Atomoptik. Wegen der im Vergleich zur Lichtwellenlänge kleineren
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Quellenangabe
Brockhaus,
Atomlithografie.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/atomlithografie