Bedampfungstechnik, Aufdampftechnik, Vakuumbedampfung, Gesamtheit der v. a. in der metallurgischen, optischen und elektronischen Industrie verwendeten, unter Hochvakuumbedingungen

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Quellenangabe
Brockhaus, Bedampfungstechnik. http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/bedampfungstechnik