Dünnschichttechnik
Dünnschichttechnik, Dünnfilmtechnologie, Sammelbezeichnung für Verfahren der Mikroelektronik zur Herstellung miniaturisierter und integrierter Bauelemente und Schaltkreise
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Quellenangabe
Brockhaus,
Dünnschichttechnik.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/dunnschichttechnik