Ellipsometrie
Ellipsometrie [zu griechisch métron »Maß«] die, -, optische Messmethode zur Bestimmung der Dicke und der optischen Eigenschaften (wie die dielektrische Funktion, Dielektrizitätskonstante) dünner, zumindest teilweise
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Quellenangabe
Brockhaus,
Ellipsometrie.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/ellipsometrie