Gasdiffusionsverfahren (Halbleitertechnik)
Gasdiffusionsverfahren, Gasdiffusionsdotierung, Halbleitertechnik: mit gasförmigen Dotanten arbeitende Diffusionstechnik zur Dotierung von
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Quellenangabe
Brockhaus,
Gasdiffusionsverfahren (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/gasdiffusionsverfahren-halbleitertechnik