Kathodenzerstäubung
Kathodenzerstäubung, das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung.
Da sich die herausgeschlagenen Atome auf
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Quellenangabe
Brockhaus,
Kathodenzerstäubung.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/kathodenzerstäubung