LIGA-Technik

LIGA-Technik [LIGA Abkürzung für Lithografie, Galvanoformung und Abformung], Verfahren der Mikrotechnik mit den Hauptprozessschritten Lithografie, Galvanoformung (Galvanoplastik) und Abformung, zur Herstellung hochpräziser dreidimensionaler Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (Verhältnis Höhe zu Breite) aus Polymeren, Metallen oder Keramik.

Im Lithografieschritt wird eine strahlungsempfindliche Polymerschicht (üblicherweise als Resist oder Fotoresist bezeichnet), deren