Maskentechnik (Halbleitertechnik)
Maskentechnik, Halbleitertechnik: ein Verfahren der Lithografie, bei dem, im Gegensatz zu direkt schreibenden
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Quellenangabe
Brockhaus,
Maskentechnik (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/maskentechnik-halbleitertechnik