Mikrominiaturisierung
Mikrominiaturisierung, Verkleinerung (Miniaturisierung) der Strukturelemente monolithischer integrierter Schaltungen bis an die Grenzen der Maskentechnik, die durch Beugung der verwendeten Strahlen gegeben ist. Mit Lichtoptik erreicht man Strichbreiten < 0,2 μm, mit
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Quellenangabe
Brockhaus,
Mikrominiaturisierung.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/mikrominiaturisierung