Nanoelektromechanik
Nano|elektromechanik, Abkürzung NEMS [für englisch nanoelectromechanical systems], Forschungs- und Entwicklungsgebiet,
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Quellenangabe
Brockhaus,
Nanoelektromechanik.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/nanoelektromechanik