Nanoprägelithografie
Nanoprägelithografie, Abkürzung NIL [für englisch nanoimprint lithography], Druckverfahren der Halbleitertechnik zur Massenproduktion von Nanostrukturen. Das dreidimensionale Muster der
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Quellenangabe
Brockhaus,
Nanoprägelithografie.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/nanoprägelithografie