Oberflächenmikromechanik
Oberflächenmikromechanik, Methode der Mikrotechnik zur Herstellung von beweglichen Strukturen aus Silicium mithilfe von Dünnfilmtechnologien.
Die Strukturerzeugung erfolgt durch wechselseitiges
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Quellenangabe
Brockhaus,
Oberflächenmikromechanik.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/oberflächenmikromechanik