Planartechnik
Planartechnik, Verfahren in der Halbleitertechnologie und Mikroelektronik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Chips; dabei wird das Halbleitermaterial, meist ein Siliciumsubstrat, mittels
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Quellenangabe
Brockhaus,
Planartechnik.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/planartechnik