Reinraumtechnik
Reinraumtechnik, Verfahren und Anlagen zur Herstellung besonders hoher äußerer Reinheit, die für spezielle Fertigungsverfahren (besonders in der Mikroelektronik bei der Chipfertigung), medizinische Operationen
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Quellenangabe
Brockhaus,
Reinraumtechnik.
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/reinraumtechnik