SOI-Technik (Halbleitertechnik)
SOI-Technik [SOI Abkürzung von englisch silicon on insulator »Silicium auf Isolator«], Halbleitertechnik: Sammelbezeichnung für verschiedene Verfahren zur Erzeugung
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Quellenangabe
Brockhaus,
SOI-Technik (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/soi-technik-halbleitertechnik