Trockenätzverfahren (Halbleitertechnik)
Trocken|ätzverfahren, Halbleitertechnik: Sammelbezeichnung für Ätzverfahren, d. h. für Verfahren der Strukturübertragung in der Fertigung von Halbleiterbauelementen, bei denen in einer Vakuumkammer
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Quellenangabe
Brockhaus,
Trockenätzverfahren (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/trockenätzverfahren-halbleitertechnik