XUV [Abkürzung von englisch extreme ultraviolet], bezeichnet den Bereich elektromagnetischer Strahlung zwischen etwa 1 und 50 nm, d. h. den kurzwelligen Grenzbereich des ultravioletten Spektralbereichs (Vakuum-Ultraviolett, VUV) hin zum Röntgenbereich,

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Quellenangabe
Brockhaus, XUV. http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/xuv