Plasmaätzen (Halbleitertechnik)
Plasma|ätzen, Abkürzung PE [zu englisch plasma etching], Halbleitertechnik: ein Trockenätzverfahren
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Quellenangabe
Brockhaus,
Plasmaätzen (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/plasmaätzen-halbleitertechnik