reaktives Ionenätzen (Halbleitertechnik)
reaktives Ionen|ätzen, Halbleitertechnik: ein dem Plasmaätzen verwandtes Trockenätzverfahren, bei dem im Gegensatz
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Quellenangabe
Brockhaus,
reaktives Ionenätzen (Halbleitertechnik).
http://brockhaus.at/ecs/enzy/article/reaktives-ionenätzen-halbleitertechnik